场发射透射电子显微镜

发布者：张燕发布时间：2023-10-31浏览次数：10

仪器中文名称

场发射透射电子显微镜

仪器英文名称

Field emission Transmission electron microscopy

规格型号

JEOL JEM-F200

生产厂商

JEOL

仪器产地

日本

仪器原值

609万元

启用日期

2022年

使用方式

预约

运行状态

正常

应用领域

材料、物理、化学、医学等

所在单位

电镜中心

安放地点

教十一143室

仪器负责人

林清云

联系电话与e-mail

linqingyun@zju.edu.cn

仪器主要用途

对材料微区形貌特征、原子尺度晶格结构进行成像表征，并对材料元素成分及价态进行定量或半定量分析。广泛应用于半导体、催化、金属、能源、钙钛矿及生物医学等领域的物质结构及成分演化过程的微观机理研究，配置功能样品杆，还能够实现加热、通气、电学、力学等原位反应研究以及三维重构等功能。

主要技术指标

  1. 肖特基热场发射电子枪，小束斑下束流：≥2.5 nA(束斑尺寸为0.7nm时)

  2. 分辨率：点分辨率：≤0.19nm@200KV;

线分辨率：≤0.10nm@200KV，≤0.14nm@80KV;

STEM分辨率：≤0.16nm@200KV，0.31nm@80KV;

HAADF分辨率：≤0.16 nm

  1. 配置双探头X射线能谱分析仪：单个SDD芯片面积≥100 mm2 ,总面积≥200 mm2，能量分辨率：122ev，元素分析范围：4Be-92U;

  2. 加速电压：20~200KV，加速电压连续可调，步长50V；

  3. 样品台：侧插式压电陶瓷测角仪样品台/样品杆可全自动插入/退出

  4. 配置二次电子探头，用于表面形貌观察

  5. 配置HR极靴，可实现3D重构操作

  6. 配置数字化照相系统，CMOS相机像素点：5472*3648

主要附件

肖特基热场发射电子枪，双探头X射线能谱分析仪，单倾/双倾/4头/3D重构样品杆，全自动进出样品杆系统，二次电子探头，扫描透射附件等。

功能特色

对材料微区形貌特征、高分辨晶格结构进行成像表征，对样品元素成分及价态进行定量或半定量分析；搭配功能样品杆，可实现加热、通气、电学、力学等原位反应研究以及三维重构等功能。

样品要求

  1. 无磁性、无高分子、无放射性、无毒性、无腐蚀性(无酸处理残留物)、无挥发性、不大量放气（尤其腐蚀性气体）、非生物样品; 

  2. 样品厚度小于100nm为宜，粉末样品需分散在直径为3 mm×3 mm的碳支持膜微栅上，不可使用磁性载网；

  3. 块状样品需先通过减薄（离子减薄/FIB减薄/超薄切片等方法）制备成厚度在100nm以下并转移至直径为3mm的微栅上。

收费标准

校内标准：1000元/小时

校外价格：1400元/小时 




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