浙江大学硅及先进半导体材料全国重点实验室

硅及先进半导体材料全国重点实验室（原名：硅材料国家重点实验室、高纯硅及硅烷国家重点实验室）于1985年开始建设，1987年建成，1988年对外开放，是我国最早建设的国家重点实验室之一。2022年年底，实验室通过全国重点实验室重组为“硅及先进半导体材料全国重点实验室”。实验室主要依托浙江大学材料科学与工程学院（材料科学与工程国家一级重点学科、“双一流”建设学科），以及材料物理与化学（原名半导体材料）、材料学、凝聚态物理等国家二级重点学科。

自1985年以来，实验室得到党和国家等各级领导的关怀。时任浙江省委书记的习近平总书记、张德江委员长曾先后来实验室视察关怀，乔石委员长和李鹏委员长也曾到实验室视察指导。实验室现有107名固定人员，其中106名科研人员、3名技术人员和1名专职管理人员，具有博士学位获得者104名，已形成一支由4名两院院士（张泽、杨德仁、叶志镇、吴汉明）领衔、18名国家杰出青年基金获得者、7名教育部长江学者、28名四青人才等共同组成的高水平研发队伍。

实验室具有完善的硅及先进半导体晶体生长、硅片加工、性能检测和芯片验证平台，形成研究能力、高层次人才、重大成果产出等方面的较大优势，是我国硅材料基础研究、技术开发和人才培养的主要基地。近年来获国家奖12项，创新了掺氮调控硅单晶缺陷行为、使役条件下原位电镜技术等重大理论，被行业和学界普遍认可。哺育了三家微电子硅材料上市公司，承担IC国家02重大科技专项，成果应用于中国航天等高端产业链。