半导体硅材料

实验室聚焦高端硅片杂质与缺陷调控理论及技术、硅片工艺用关键原辅材料理论及技术等重大关键问题，解决半导体器件核心材料国产替代的的技术难题。实验室具有完善的硅晶体生长，硅片加工和硅晶体材料检测平台，与国内硅材料龙头企业建立紧密的产学研合作。在国际上提出了“共掺杂控制硅单晶缺陷行为”的重大创新理论和技术，发明了微量掺氮、掺锗直拉硅单晶等新产品，被国际微电子产业界广泛接受和应用。哺育了三家微电子硅材料上市公司。合作承担了半导体器件国家02专项重大科技任务，成果应用于中国航天等高端产业链。在国内率先开发出高效铸造晶体硅系列技术并实现了规模化生产。

• 晶体硅在半导体器件领域的应用

• 晶体硅在光伏发电领域的应用

• 纳米硅在电子、储能的应用