半导体微纳结构与物理

实验室聚焦使役条件下（高温、载荷、气氛、辐照等）半导体性能与微纳结构动态演变规律的重大科学问题，为硅及先进半导体材料技术突破提供理论支撑，推动微纳结构调控新材料设计及产业技术提升。率先研制出了扫描电镜和透射电镜中的原位原子分辨热力电耦合测试系统；首次实现了气固催化反应过程原子级别的直观成像，建立了外场调控活性位点的新方法。

• 性能演变的微观机制

• 缺陷产生与演变

• 失效行为及损伤机理

• 原位表征方法、系统及装备