报告题目:多光子聚合与光化学还原-超衍射远场纳米加工技术
报告人:段宣明研究员
地点:曹光彪大楼二楼贵宾室
时间:2016年12月8日上午10:00-11:00
邀请人:崔元靖副教授,钱国栋教授
报告内容:
激光加工技术作为重要的先进制造技术之一已广泛应用于众多的工业制造领域。利用激光直写技术进行加工时,其所能达到的加工分辨率一直受到经典光学理论衍射极限的限制,难于进行纳米尺度的加工。飞秒脉冲激光的出现不仅为研究光与物质相互作用的超快过程提供了手段,也为发展先进的微纳米加工技术提供了不可多得的光源。作为最新的激光加工技术之一的多光子超衍射纳米加工技术利用非线性光学效应之一的多光子效应与激光与物质作用的阈值效应,成功地实现了纳米尺度的激光直写光刻分辨率,已成为目前国际上研究热点之一。利用多光子超衍射纳米加工技术所具有高精度、良好的空间分辨率和真三维加工能力的特点,已制备出了各种微尺度光子学器件及微机电系统,充分展示了该技术的应用前景,可望在功能性微纳器件制备等纳米技术领域发挥重要作用。本报告将讨论多光子技术这一非线性纳米光刻原理、最新技术进展及其在微纳器件制备中的应用。
报告人简介:
段宣明,研究员,博士生导师,中科院百人计划入选者,中国科学院重庆绿色智能技术研究院智能制造技术研究所副所长、机器人与3D打印技术创新中心主任。在日本东北大学获得理学博士学位,先后在日本理化学研究所、美国通用电气公司、日本科学技术振兴事业团、中科院理化技术研究所工作。长期从事激光三维微纳结构加工技术研究,使激光加工精度达到纳米量级,原创性地提出并发展了纳米复合材料、金属纳米材料的三维微纳结构激光加工方法。目前的主要研究兴趣及研究工作领域是:多光子超衍射纳米加工技术、微纳器件激光加工制备技术、在轨增材制造技术、高精度激光3D打印技术与应用、增减材复合制造技术等。主持973、重点研发专项等国家及中科院重大重点项目20余项。申请包括日本、美国、欧洲及中国专利60余项,获授权20余项。在发表SCI论文130余篇,SCI引用两千余次。国际会议邀请报告50余次。