原子力显微镜

主要应用于材料、物理、化学、生物等领域的表面形貌研究。系统可以提供样品在大气、溶液及原位状态的研究，可以方便地控制湿度、环境气氛和温度等一系列条件，可得到高分辨的形貌、电位、电流、磁畴、黏弹力等图像。

1）样品表面形貌：大范围扫描，XY范围不小于50μm50μm 10%，Z范围不小于5μm10%；噪声≤0.5 nm RMS。小范围扫描，XY范围10μm10μm 10%，噪声≤ 0.1 nm RMS；Z范围2μm 10%，噪声≤ 0.05 nm RMS。

2）电学性能测试：电流模式，空间分辨率2nm 2nm，驱动电压≥±10V。电位模式，空间分辨率2nm 2nm，表面电压噪声≤ 1.0V，可提供接触和/或轻敲模式的测试技术。在普通KFM模式的基础上，配备光线导入接口，适合进行光诱导的电学性能测试。

3）电化学模式：可在恒电流模式或恒电压模式下使用接触式、轻敲式或非接触式进行扫描影像和电化学谱线量测分析（I-V，I-t，V-t）。

4）磁性能测试：磁畴的空间分辨率不低于20nm 10%；Z范围 5nm 10%。

采用模块化设计，一个系统能为多学科联合使用。