光度式椭圆偏振光谱仪

发布者:系统管理员发布时间:2013-05-30浏览次数:5281

仪器中文名称: 光度式椭圆偏振光谱仪
仪器英文名称:Spectroscopic Ellipsometers
规格型号: GES_5E产地: 法国
生产厂商: Semilab仪器原值: 145万
应用领域: 材料学等使用方式: 对外开放
运行状态: 正常收费标准: 校内100元 / 个
所在单位: 硅材料国家重点实验室仪器负责人: 刘涌
安放地点: 玉泉校区第一教学大楼208室联系电话: 13858040964
启用日期: 2012-06-01Email: liuyong.mse@zju.edu.cn

设备信息


仪器主要用途
  • 测量薄膜样品椭偏参数,并通过建立合适的色散关系,获得薄膜材料的结构信息获得薄膜每层结构的折射率及消光系数;

  • 测定多孔薄膜的孔隙率,孔径大小及分布等信息;

  • 原位观察薄膜样品在施加热场时的性能变化,温度变化范围为-196 ~ 600

  • 测定薄膜的透过率,及0~45°范围内的偏振光反射率;

  • 通过Eddy Current测定导电薄膜样品的方电阻

主要技术指标
  • CCD分辨率0.8nm,波段190~1000nm

  • PMT分辨率0.5nm,波段190~2000nm

主要附件
 变温样品台,温度范围-196 ~ 600
 EPA配件,可测定薄膜孔隙率;
 Eddy Current测定薄膜样品方阻;
功能特色
  • 薄膜结构分析

  • 薄膜光学参数确定

  • 孔隙率测量

样品要求
表面尽量平整,薄膜厚度<1μm,对于吸收较强的薄膜厚度应更小