光度式椭圆偏振光谱仪
发布者：系统管理员发布时间：2013-05-30浏览次数：5695
 | 仪器中文名称: 光度式椭圆偏振光谱仪 |
| 仪器英文名称:Spectroscopic Ellipsometers |
| 规格型号: GES_5E | 产地: 法国 |
| 生产厂商: Semilab | 仪器原值: 145万 |
| 应用领域: 材料学等 | 使用方式: 对外开放 |
| 运行状态: 正常 | 收费标准: 校内100元 / 个 |
| 所在单位: 硅材料国家重点实验室 | 仪器负责人: 刘涌 |
| 安放地点: 玉泉校区第一教学大楼208室 | 联系电话: 13858040964 |
| 启用日期: 2012-06-01 | Email: liuyong.mse@zju.edu.cn |
设备信息
仪器主要用途 | 测量薄膜样品椭偏参数，并通过建立合适的色散关系，获得薄膜材料的结构信息获得薄膜每层结构的折射率及消光系数； 测定多孔薄膜的孔隙率，孔径大小及分布等信息； 原位观察薄膜样品在施加热场时的性能变化，温度变化范围为-196 ~ 600℃； 测定薄膜的透过率，及0~45°范围内的偏振光反射率； 通过Eddy Current测定导电薄膜样品的方电阻
| 主要技术指标 | | 主要附件 | 变温样品台，温度范围-196 ~ 600℃； EPA配件，可测定薄膜孔隙率； Eddy Current测定薄膜样品方阻； | 功能特色 | | 样品要求 | 表面尽量平整，薄膜厚度＜1μm，对于吸收较强的薄膜厚度应更小 |
|
