傅里叶红外光谱仪

发布者:系统管理员发布时间:2013-05-30浏览次数:5993

仪器中文名称: 傅里叶红外光谱仪
仪器英文名称:Fourier Transform Infrared Spectroscopy
规格型号: IFS 66v/S产地: 德国
生产厂商: Bruker仪器原值: 1117368.00
应用领域: 材料学、晶体学、化学使用方式: 对外开放
运行状态: 正常收费标准: 校内300元 / 小时
所在单位: 硅材料国家重点实验室仪器负责人: 余学功
安放地点: 硅材料国家重点实验室1号楼210房间联系电话: 0571-87953003
启用日期: 2003-01-01Email: yuxuegong@zju.edu.cn

设备信息


仪器主要用途
  • 测试半导体材料中的杂质浓度

主要技术指标
  • 光谱范围:         7,500370 cm-1

  • 分辨率:           优于0.25 cm-1

  • 波数精度:               优于0.01 cm-1

  • 透光率精度:             优于0.1%T

  • /噪比:            高于36,0001(峰-峰值),DTGS检测器,4cm-1分辨率,谱区范围2200-2100 cm-11分钟测试。

主要附件
  • 红外显微镜

  • 低温样品台

功能特色
  • 测试硅中的氧碳含量。

  • 可在低温条件下测试,温度最低可到10K

样品要求
测试样品厚度要大于0.2mm,在1-3mm较适宜;
适宜轻掺的样品避免载流子吸收,n型电阻率大于0.1Ωcmp型的电阻率大于1.0Ωcm
样品需双面抛光,达到光亮状态,减小表面散射的作用。