场发射扫描电子显微镜
发布者：张燕发布时间：2011-07-07浏览次数：10126
| 仪器中文名称: 场发射扫描电子显微镜 大型仪器操作在线培训考核系统 |
| 仪器英文名称:Field emission scanning electron microscopy |
| 规格型号: JSM-IT800(SHL) | 产地: 日本 |
| 生产厂商: 日本电子 | 仪器原值: 280万元 |
| 应用领域: 材料，物理，生仪、能源等 | 使用方式: 对外开放 |
| 运行状态: 正常 | 收费标准: 校内400元 / 小时 |
| 所在单位: 硅及先进半导体材料全国重点实验室 | 仪器负责人: 王洁如 |
| 安放地点: 1号楼101室 | 联系电话: 0571-87952096 |
| 启用日期: 2023年 | Email: wangjieru@zju.edu.cn |
设备信息
仪器主要用途 | 观察材料微观形貌。样品表面高倍率放大成像； · · 进行背散射成像，辅助进行材料的成份的鉴定确定； · · 附带的X射线能谱仪能够进行微区成分鉴定； · 制样方便，不破坏样品。可做能谱分析，例如面扫描，得到元素分布图。广泛应用于分析材料所含元素，进行半定量分析。 | 主要技术指标 | 分辨率：二次电子：≦0.5nm（@15kV），≦0.7nm（@1kV），≦1.0nm（@0.5kV） | 主要附件 | 背散射探头，能谱仪，真空转移盒 | 功能特色 | 单独的背散射探头使拍摄的背散射像对比特别明显。真空转移盒可以使怕水怕空气的样品从手套箱直接转移到电镜真空样品仓里。 | 样品要求 | 无磁性、无放射性、无毒性、无腐蚀性(无酸处理残留物)、无挥发性，不大量放气（尤其腐蚀性气体）; 厚度小于20mm；面积大小为小于50mm×50 mm；粉末样品最好压片（直径小于8mm），或者转移至平整的衬底上。制备或处理样品时使用聚乙烯手套，禁止使用塑料手套和工具。 | 收费标准 | 重点实验室内标准：200元/小时，材料学院内标准：300元/小时 校内标准：400元/小时，校外价格：700元/小时，喷金：60元/次 |
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