近日,硅材料国家重点实验室收到“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项(02专项)实施办公室正式通知,由硅材料国家重点实验室与宁波立立电子股份有限公司联合申请的国家科技重大专项项目“200mm硅片研发与产业化及300mm硅片关键技术研究”获得批准。项目预定总经费为4.8亿,其中国拨预算经费为1.2亿元。
自21世纪以来,虽然我国逐渐成为国际上最重要的极大规模集成电路制造的基地之一,然而,其所需要的基础材料 200mm和300mm硅片却严重依赖进口。为了摆脱这一局面,国家科技重大专项就200mm和300mm硅片研发与产业化专门设立项目指南,旨在通过支持产学研结合,促进200mm硅片的国产化,并研究开发300mm硅片的关键产业化技术。
硅材料国家重点实验室是我国最重要的硅材料基础研究的基地,宁波立立电子股份有限公司则是我国目前唯一拥有从硅单晶锭到硅外延片完整制造体系的硅材料企业,是硅材料领域的龙头企业之一。两者通过强强联合,在浙江省、浙江大学和宁波市的大力支持下,成功获得上述国家科技重大专项。
在未来三年内,硅材料国家重点实验室将针对宁波立立电子股份有限公司的研发与产业化目标,将200mm硅片缺陷工程的研究成果应用于新型硅片的开发以及质量改进,宁波立立电子股份有限公司则将致力于200mm硅抛光片和外延片的研发及其产业化。双方还将合作研发300mm硅片的关键产业化技术。在国家科技重大专项的支持和双方的共同努力下,通过产学研合作,取得新的成果,实现200mm硅片的规模化生产,满足我国微电子产业的重大需求,并将硅材料国家重点实验室相关研究的水平推向新的高度。