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ZnO方向 GaN方向 LiNbO3方向 GeSi方向
MOCVD UHV/CVD MS PLD
XRD
HALL TEM
教师
学生
型号:Bede D1
特点:分辨率高,可根据不同的测试对象选择不同的光路,X-ray最小展宽低达4.5秒。样品台可放置6到12英寸的硅片,适合分析各种单晶、多晶薄膜的结晶质量和应力状态等。
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